利用全息照相技術(shù)制作的光柵。
在光學(xué)穩(wěn)定的平玻璃坯件上涂上一層給定型厚度的光致抗蝕劑或其他光敏材料的涂層。由激光器發(fā)生兩束相干光束,使其在涂層上產(chǎn)生一系列均勻的干涉條紋,則光敏物質(zhì)被感光。然后用特種溶劑溶蝕掉被感光部分,即在蝕層上獲得干涉條紋的全息像。所制得為透射式衍射光柵;如在玻璃坯背面鍍一層鋁反射膜后,可制成反射式衍射光柵。
這種方法制造的光柵線槽密度高,劃面寬度大,刻線可達(dá)3663~4234條mm,面積可達(dá)165×320mm2。
全息光柵沒有鬼線和像散,雜散光小,可消除機(jī)刻光柵的固有缺點(diǎn),其實(shí)際分辨本領(lǐng)可達(dá)理論分辨本領(lǐng)的80%~100%